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■マニュアル エポキシダイボンダー モデル7200CR ■卓上型マニュアル ディープアクセス ウエッジボンダー モデル7476D ■卓上型マニュアル ボールワイヤー&バンプボンダー モデル7700D ■HMP-410IS 小型マニュアルプローバー+テスター(B2900A) ■AW610 高速熱処理装置 ■自動真空・ガス置換電気炉 VF-5000 ■卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx...
■原子層堆積装置(ALD装置) ■アニール装置(RTP装置) ■その他研究開発装置
■各種マニュピレータ ■真空コンポーネント ■電気管状炉
■音響光学素子(AOM) ■高速AOディフレクタ用RFドライバ ■CO2レーザ用Ge AO変調器 等
■【ファイファーバキューム社製品】 ・卓上型TMP排気ユニット Hicube ECO ・ヘリウムリークディテクタASM310 ・6chゲージコントローラ TPG366(新製品) ・四重極質量分析計 Prisma Pro(新製品) ・ゲートバルブ(新製品)
■真空成膜装置 ■真空コンポーネント ■表面分析装置 ■極低温光学・物性測定装置
■MPPCモジュール ■高速イメージングユニット ■ORCA-Fusion ■InGaAsカメラ ■プリアンプ付赤外検出モジュール ■波長掃引CWQCL ■THz-QCL ■パルスファイバレーザ、他
■1)ものづくり補助金事業成果物 ■2)PLD, スパッタ装置, 4深針測定装置紹介
■分析機器および分析応用例
未定
■IGS(集積化ガスシステム) ■FCS ■V-Lok ■VV-Valve ■Kabo(工具)
■計算化学シミュレーションソフト「SCIGRESS」
■無機材料データベース「AtomWork-Adv」利用サービスの紹介
■NIMS微細加工プラットフォームの紹介(研究開発向けの共用実験施設)
■NIMS Open Facility(NIMS共用設備)の紹介 ■ユーザースクールの紹介
■BLD-100 屋内光評価用LED光源 ■M25 モノクロメータ
未定
■グレーティング ■分光器 ■検出器 ■MFC ■ガス濃度モニタ ■放射温度計