■グラフ作成・データ分析ソフトウェア Origin

■【EUV-X線用デバイス】ディテクター(Siフォトダイオード、CCD/CMOSカメラ) ・オプティクス（多層膜ミラー、回折格子） ・薄膜フィルター ■【真空用部材】 ・セラミック製品（絶縁管、フィードスルー）、他

■超高真空/ 高真空 マイクロプローブ＆チャンバ ■８プローブ・高真空薄型マイクロプローブ＆チャンバ ■高真空・薄型マイクロプローブ＆チャンバ ■ホール効果測定用薄型マイクロプローブシステム

■デバイス・スイート(フォトニックマルチフィジックス解析)：FDTD、MODE、CHARGE、HEAT、DGTD、FEEM、STACK ■システム・スイート(光集積回路解析)：INTERCONNECT、CMLコンパイラ、CMLパブリッシャ+、レーザー・ライブラリ、システム・ライブラリ、フォトニックVerilog-Aプラットフォーム

■レーザー顕微鏡　OPTELICS HYBRID

■ポジショナー ■レーザー干渉変位計 ■磁場カメラ