■本事業は、大学・研究機関の保有する最先端のナノテクノロジー研究設備・技術を広く公開し、どなたでも研究・開発にご活用いただけるサービスです。利用事例や支援の仕組についてご紹介させていただきます。

■エレクトロケミカルCVプロファイラー ■ホール効果測定装置 ■フォトルミネッセンスマッピングシステム ■FT-IRシステム ■分光反射率式膜厚測定システム

■化合物半導体の加工用接着剤 ■その他副資材 ■半導体ガス精製カラム

■QD社製MPMS3, PPMSシリーズ, OpitiCool, 液体ヘリウムリカバリー装置, 超低振動無冷媒オプティカルクライオスタット, 小型LED直接描画装置, 超高感度カー効果測定装置, サーマル捜査プローブ描画装置, 無冷媒極低温AFM/STM, 走査型プローブ顕微鏡など

■半導体＆材料開発のための原子スケールモデリングツールQuantumATKのご紹介。密度汎関数法、半経験的手法、古典力場など様々な手法を搭載。簡便な操作を実現するGUIとしてQuantumATK NanoLabを提供。製品デモも行います。

■JCM-7000 NeoScope™ 卓上型走査電子顕微鏡

■中赤外量子カスケードレーザー ■スーパーコンティニューム光源 ■その他レーザー光源、関連機器

■結晶 塩飽THzディテクター

■マニュアル エポキシダイボンダー モデル7200CR ■卓上型マニュアル ディープアクセス ウエッジボンダー モデル7476D ■卓上型マニュアル ボールワイヤー＆バンプボンダー モデル7700D ■HMP-410IS 小型マニュアルプローバー+テスター(B2900A) ■AW610 高速熱処理装置 ■自動真空・ガス置換電気炉 VF-5000 ■卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx...

■原子層堆積装置（ALD装置） ■アニール装置（RTP装置） ■その他研究開発装置

■各種マニュピレータ ■真空コンポーネント ■電気管状炉

■音響光学素子(AOM) ■高速AOディフレクタ用RFドライバ ■CO2レーザ用Ge AO変調器 等

■【ファイファーバキューム社製品】 ・卓上型TMP排気ユニット Hicube ECO ・ヘリウムリークディテクタASM310 ・6chゲージコントローラ TPG366（新製品） ・四重極質量分析計 Prisma Pro（新製品） ・ゲートバルブ（新製品）

■真空成膜装置 ■真空コンポーネント ■表面分析装置 ■極低温光学・物性測定装置

■MPPCモジュール ■高速イメージングユニット ■ORCA-Fusion ■InGaAsカメラ ■プリアンプ付赤外検出モジュール ■波長掃引CWQCL ■THz-QCL ■パルスファイバレーザ、他

■1）ものづくり補助金事業成果物 ■2）PLD, スパッタ装置, 4深針測定装置紹介

■分析機器および分析応用例

未定

■IGS（集積化ガスシステム） ■FCS ■V-Lok ■VV-Valve ■Kabo（工具）

■計算化学シミュレーションソフト「SCIGRESS」