[18a-C206-1~12] 1.6 超音波

△ [18a-C206-10] LiNbO₃同種材料接合構造におけるリーキーSAWの解析

〇(M1)藤巻 貴海¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：弾性表面波、同種材料接合、ニオブ酸リチウム

LiNbO₃同士を接合させる同種材料接合構造上のLSAW特性について理論的に解析した結果を報告する．回転Yカット基板単体において最大のK²を有する10°YX-LNを薄板とし，支持基板のカット角を最適化した．同種接合することにより，自由表面と短絡表面で同時に最小の伝搬減衰を示すカット角が存在し，19.2%のK²が得られた．さらに，約49万の共振Q_r，約11万の反共振Q_aが得られることを明らかにした．