[18a-C206-1~12] 1.6 Ultrasonics

△ [18a-C206-6] Development of Dynamic Calibration Method for Trace Moisture Analyzer Based on Quick Response of Ball SAW Sensor

〇Takamitsu Iwaya¹, Akao Shingo¹, Okano Tatsuhiro¹, Takeda Nobuo¹, Tsuji Toshihiro^1,2, Oizumi Toru¹, Fukushi Hideyuki¹, Sugawara Maki¹, Tsukahara Yusuke¹, Yamanaka Kazushi^1,2 (1.Ball Wave Inc., 2.Tohoku Univ.)

Keywords:surface acoustic wave, trace moisture

Liイオン電池や有機ELの製造では工程ガス中の微量水分管理が重要であり、微量水分計の現場校正が望まれている。しかし、従来の一定水分濃度中でセンサ応答と水分濃度の関係を導く静的校正法は、正確な校正が可能だが、装置が大きく測定に長時間要するため現場適用が難しかった。本報告では、我々がこれまで開発してきた球状弾性表面波（ボールSAW）素子を用いた微量水分計の高速応答性を活かし、短時間の校正法を検討する。