[18a-C206-1~12] 1.6 超音波

△ [18a-C206-9] LiNbO₃/SiO₂/水晶構造におけるリーキーSAWの解析

〇(M1)浅川 詩織¹、林 純貴¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、手塚 彩水²、桑江 博之²、水野 潤² (1.山梨大、2.早稲田大)

キーワード：弾性表面波、漏洩弾性表面波、広帯域

近年，SAWデバイスの高性能化のため，異種材料を組み合わせた基板構造が多く提案されている．特に，LiNbO₃(LN)と温度補償膜SiO₂を利用することで高結合かつ温度特性の高安定化が期待できる．本報告では，LN/SiO₂/水晶構造において漏洩弾性表面波(LSAW)の特性を理論的に検討した結果を報告する．27°YX-LN/SiO₂/AT90°X-Q構造上において帯域幅は11.5%を示し，TCFは単体と比較し約1/2に減少した．今後は，更なる高結合かつ低TCFを実現可能な構造の探索を行う．