[18a-C310-1~10] 6.6 Probe Microscopy

[18a-C310-1] [Young Scientist Presentation Award Speech] Variable frequency measurements in dual bias modulation EFM

〇Ryota Fukuzawa¹, Takuji Takahahis^1,2 (1.IIS. The Univ. Tokyo, 2.NanoQuine)

Keywords:electrostatic force microscopy, atomic force microscopy, scanning capacitance force microscopy

走査型容量原子間力顕微鏡では，静電気力の周波数をカンチレバーの共振周波数に合わせることで高感度化を実現しているが，これにより測定周波数の選択制が悪くなってしまう．我々は，異なる二つの周波数の交流電圧を同時に印加する二十バイアス変調静電引力顕微鏡を提案することで，可変周波数での静電引力測定を実現した．一般的なMOS構造を用いて検証したところ，界面欠陥による静電気力の周波数特性を観測することができた．