[18a-C310-1~10] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [18a-C310-9] 振幅制御周波数変調検出によるTiO₂表面上Auナノ粒子のKPFM測定

〇三坂 朝基¹、梶本 健太郎¹、荒木 健人¹、松本 卓也¹ (1.阪大院理)

キーワード：走査プローブ顕微鏡

ケルビンプローブフォース顕微鏡法(KPFM)は試料表面のポテンシャル計測法として広く使われている測定法である。本発表では凹凸の激しい表面で高感度のポテンシャル計測を実現するために、探針-試料間距離を振幅変調(AM)検出で、印加電圧による静電気力応答を周波数変調(FM)検出で行うAM-FM KPFM測定を、金微粒子/TiO2基板試料に対して行った。このとき金微粒子の大きさは約45nmと嵩高いが、この凹凸でトポグラフの取得と5mVのノイズレベルのKPFM測定が両立している。探針-試料間距離と静電気力応答を共にAM検出で行うAM-AM KPFMとAM-FM KPFMの比較について議論する。