[18a-E205-1~9] 3.2 Equipment optics and materials

[18a-E205-8] Beam quality control of DUV laser beam using random phase plate

〇Yohei Tanaka¹, Chen Qu¹, Yuki Tamaru¹, Hironori Igarashi¹, Atsushi Fuchimukai¹, Taisuke Miura¹, Junichi Fujimoto¹, Hakaru Mizoguchi¹ (1.Gigaphoton Inc.)

Keywords:DUV laser, random phase plate

固体レーザと波長変換技術によって発生させた紫外の光パルスを種光とし、ArFレーザで増幅するハイブリッドArFレーザでは、集光性よりも強度の均一性が優先される等用途に応じてビーム特性のコントロールを行う必要がある。
ランダム位相板のパラメータを調節する事で透過するビームの特性が変化するが、レーザ光のビーム特性を表す代表的な指標であるM²とランダム位相板のパラメータとの関係を実験的に調べたので報告する。