[18a-E303-1~12] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

△ [18a-E303-5] Control of the Water-repellent of Defect-free and Ordered Nano-pillar Array Structures Fabricated by Bio-template Ultimate Etching

〇Sou Takeuchi¹, Daisuke Ohori¹, Teruhisa Ishida², Mami Tanaka², Masahiro Soda², Seiji Samukawa^1,3 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.NAGASE & CO., LTD., 3.AIMR, Tohoku Univ.)

Keywords:hydrophobicity, Si nano-pillar structure, Neutral Beam

固体表面における撥水性の研究は様々な分野において注目を集めている。我々は独自の技術であるバイオテンプレート極限加工技術と中性粒子ビーム加工技術を用いて高均一・高密度・低欠陥の10nmサイズのSiナノピラー構造を作製し撥水性の実現に必要な表面に微細構造を作製した。本研究では配置制御されたSiナノピラー構造の間隔を25~60 nmと変化させ、間隔の変化によって生じる表面の撥水性の変化について検討した。