10:15 〜 10:30
[18a-E307-3] 塩化鉄を触媒前駆体に用いた多層CNT成長機構の研究
キーワード:カーボンナノチューブ、成長機構、塩化鉄
これまで我々はカーボンナノチューブ(CNT)の合成方法として塩化鉄を触媒前駆体として用いる塩化物介在化学気相堆積法(Chloride Mediated Chemical Vapor Deposition : CM-CVD)を開発してきた。本方法は、CNTのフォレスト長、配向性、結晶性が高い点が特徴である。しかし、塩素の効果やCNTの成長メカニズムは明確に解明されていない。本研究ではCNT合成試料について、透過電子顕微鏡(TEM)を用いた断面観察を行い、CNTの成長メカニズムを詳細に調査した。