[18a-E307-1~8] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[18a-E307-5] コバルトと鉄の積層膜を触媒とした熱フィラメントCVD法による単層カーボンナノチューブの低温成長

〇齋藤 駿介、石川 豊、西口 貴郁、宮野 虎太郎

キーワード：カーボンナノチューブ、低温成長、積層膜

CoとFeの積層膜を触媒とし、熱フィラメントCVD法によるSWCNTの低温成長を、炭素源にエタノールを用いて行った。350℃成長では、触媒にCoを用いると、SWCNTはほとんど成長しないが、FeとCoの積層膜を触媒に用いた場合にはSWCNTが確認された。ラマンスペクトルには、1590cm^-1にGバンド、222、264、281cm^-1にRBMが見られ、G^-も見られた。FeとCoを積層させることにより、積層膜は350℃の成長温度で粒子化した。