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[18a-E310-1] ガイド層を有するUVB発光素子のサブピーク解析
キーワード:窒化物、レーザ、ダイオード
我々は昨年、p-AlGaN上部クラッド層の構造・成長条件を最適化し、ガイド層を有するUVB発光素子において電流密度 41.2 kA/cm2に相当する電流を流すことに成功している。しかし、端面からの発光は井戸層発光(波長300 nm)とサブピーク発光(波長275 nm)のダブルピークとなっており、キャリア注入効率が低い可能性が示唆された。本発表では発光素子の構造検討により、サブピーク発光の発光メカニズムを明確化し、その光学特性を評価したので報告する。