11:15 〜 11:30
[18a-E310-9] DCスパッタAlNテンプレート上UVC AlGaN LEDの作製と評価
キーワード:UV-LED、スパッタ、アニール
AlGaN深紫外LEDは水や空気の殺菌・浄化などの応用から実用化が期待されている。我々は、生産性に優れたDCスパッタ法と高温アニール法を併用した低コスト・高品質のAlGaN深紫外LED実現を目指し研究を行っている。これまで、均一なスパッタAlNの成膜条件を検討し、290 nmで外部量子効率0.82 %のLED動作を報告した。今回、成長条件の最適化を進め、発光波長270 nmで効率1.3 %のLEDを作製したので報告する。