[18a-E311-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18a-E311-3] 酸化鉄エピタキシャル薄膜の低温合成と構造・価数制御

〇菅 大介¹、菅野 聡¹、小杉 佳久¹、小林 顕斗¹、上林 奈央¹、小金澤 智之²、島川 祐一¹ (1.京大化研、2.JASRI/SPring-8)

キーワード：鉄酸化物、ミストCVD、低温薄膜成長