[18a-E317-1~10] 9.1 誘電材料・誘電体

[18a-E317-3] 高容量キャパシタに向けた三次元誘電体エピタキシャル層を含むペロブスカイト型複合セラミックスの水熱法による作製

〇(M1)大島 佑友¹、上野 慎太郎¹、藤井 一郎¹、和田 智志¹ (1.山梨大工)

キーワード：キャパシタ、誘電体

近年、電子機器の普及とともに、主要部品である積層セラミックキャパシタ(MLCC)の需要も増加してきた。今、誘電体部の薄層化を進めるには限界が近づいている。これに対し、三次元的な導電層/誘電体エピタキシャル層/導電層からなる構造を大面積でセラミックキャパシタに導入する手法を提案する。本研究では、導電体にペロブスカイト型構造を持つ導電性酸化物LaNiO₃ (LN)を採用し、誘電体にはKNbO₃ (KN)等を採用してKN/LN複合粒子の作製を試みた。