[18a-E318-1~14] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18a-E318-1] 電子線ホログラムの干渉縞欠損箇所修復による残滓低減手法

〇三浦 克介¹、御堂 義博¹、村上 恭和²、中前 幸治¹ (1.阪大情、2.九大工)

キーワード：電子線ホログラム、残滓、位相再構成

電子線ホログラムの干渉縞欠損箇所修復による残滓低減手法の実用化を
目指し、その影響の評価・検討った結果を示す。シミュレーションにより生成したホログラムに疑似欠陥を導入し、欠損修復領域のサイズ等を変更し、本手法の影響を評価している。欠損修復領域のサイズは、欠損全体を覆うできるだけ小さい領域が良いことを示す。