[18a-E318-1~14] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18a-E318-10] 微結晶シリコンを用いた平面型電子源からの電子放射（Ⅰ）

〇嶋脇 秀隆¹、村上 勝久²、長尾 昌善²、根尾 陽一郎³、三村 秀典³ (1.八戸工大工、2.産総研、3.静岡大電研)

キーワード：平面型電子源、ナノ結晶シリコン