[18a-E318-1~14] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18a-E318-12] 転写モールド法微小突起型陰極アレイの誘電体バリア放電の膜厚依存性

〇清水 皓介¹、文 宗鉉¹ (1.静岡大学院工)

キーワード：転写モールド法エミッタアレイ、誘電体バリア放電

エミッタ先端の先鋭性、エミッタ形状の均一性、エミッタ材料の選択性に優れるという特長を持つ独自の転写モールドエミッタ作製方法を利用して突起型陰極アレイを作製し、陰極上に局所的な電界集中を発生させ、高気圧下において低放電電圧及び高効率プラズマ源の開発を目指す。第一段階として、微小突起型陰極アレイ上の誘電体膜厚さによる誘電体バリア放電特性の評価を行った。