[18a-E318-1~14] 【CS.7】 Code-sharing Session of 7.2 & 7.4 & 9.5

[18a-E318-14] Development of spatiotemporalmeasurement and analysis methods in x-ray photoelectron spectroscopy II

〇Satoshi Toyoda¹, Tomoki Yamamoto², Masashi Yoshimura³, Hirosuke Sumida⁴, Susumu Mneoi⁴, Masatake Machida⁵, Akitaka Yoshigoe⁶, Akira Yoshikawa¹, Satoru Suzuki¹, Kazushi Yokoyama² (1.Tohoku Univ., 2.Univ. of Hyogo, 3.SPring-8 Service, 4.Mazda, 5.Scienta Omicron, 6.JAEA)

Keywords:buried interface, x-ray photoelectron spectroscopy, Time series analysis of depth profile

我々は、埋もれた界面の反応動態を直接観測する技術を構築するため、新たなX線光電子分光データ計測・解析法の開発に取り組んでいる。これまで、二次元検出器で取得した角度分解光電子分光データを元に、深さ方向分布の時系列解析を行う手法を提案し、シミュレーションで有効性を示した。本発表では、露光時間1秒の近大気圧下硬X線角度分解光電子分光データにより、多層積層膜界面反応の”動画撮影”に挑戦した結果を報告する。