[18a-E318-1~14] 【CS.7】 Code-sharing Session of 7.2 & 7.4 & 9.5

[18a-E318-3] Development of Electron Gun Utilized Highly-bright NEA Photocathode for SEM

〇Takashi Ohshima¹, Hideo Morishita^1,2, Makoto Kuwahara², Toshihide Agemura³, Yoichi Ose³ (1.Hitachi R&D Group, 2.IMaSS Nagoya Univ., 3.Hitachi High-Technologies Corp.)

Keywords:Electron gun, Negative electron affinity

電子顕微鏡にパルス電子源を用い、時間変化も測定する手法が注目されている。高い空間分解能を得るには、高輝度の電子源が必須である。我々は、パルス光の入射により電子放出が可能な電子源として、GaAsを主材料とする負の電子親和力（NEA: Negative Electron Affinity）を利用した高輝度ホトカソードを取り上げ、これをSEMに応用するための電子銃を開発した。