[18a-E318-1~14] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18a-E318-3] 高輝度NEAホトカソードを電子源としたSEM向け電子銃の開発

〇大嶋 卓¹、森下 英郎^1,2、桒原 真人²、揚村 寿英³、小瀬 洋一³ (1.日立研開、2.名大未来研、3.日立ハイテクノロジーズ)

キーワード：電子銃、負の電子親和力

電子顕微鏡にパルス電子源を用い、時間変化も測定する手法が注目されている。高い空間分解能を得るには、高輝度の電子源が必須である。我々は、パルス光の入射により電子放出が可能な電子源として、GaAsを主材料とする負の電子親和力（NEA: Negative Electron Affinity）を利用した高輝度ホトカソードを取り上げ、これをSEMに応用するための電子銃を開発した。