[18a-E318-1~14] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18a-E318-5] SOIピクセル検出器を用いたナノ秒パルス電子線イメージング

〇篠崎 暉¹、福和 果歩¹、石田 高史¹、桑原 真人¹、三好 敏喜²、新井 康夫²、齋藤 晃¹ (1.名古屋大、2.KEK 素核研)

キーワード：検出器、透過電子顕微鏡