[18a-F211-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[18a-F211-1] [講演奨励賞受賞記念講演] sPFEによるシリコンナノロッド連続生成とLIB負極特性

〇田中 章裕¹、太田 遼至¹、道垣内 将司²、神原 淳¹ (1.東大院工、2.島根産技センター)

キーワード：リチウムイオン電池、シリコンナノワイヤ、プラズマPVD

次世代高密度Liイオン電池負極として高容量と高サイクル安定性の両立が期待されるSiナノロッド（SiNR）を，原料分離投入プラズマフラッシュ蒸発法(sPFE)により安価粉体原料からも高速で連続生成しうることを確認した．触媒連続生成過程を含むSiNR成長モデル提案を通じて，当該PFEプロセス時のSiNR成長の特徴と成長制御指針を定量的に明らかにすると共に，電池負極活物質としての影響を確認した。