[18a-N304-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[18a-N304-2] 干渉パターンを利用したレーザー誘起ドット転写法の開発

〇中田 芳樹¹、小坂 悠起¹、林 英輝¹、椿本 孝治¹、白神 宏之¹、宮永 憲明²、奈良崎 愛子³、東海林 竜也⁴、坪井 泰之⁴ (1.阪大、2.レーザー総研、3.産総研、4.大阪市大)

キーワード：レーザー誘起ドット転写、フェムト秒レーザー、ナノドット

金属ナノ構造は表面増強ラマン散乱による高感度分析や触媒など幅広い分野で用いられており、その作製法は重要な研究分野である。本研究では、超短パルスレーザー干渉パターン加工法とレーザー誘起ドット転写(LIDT)法を融合し、干渉パターンLIDT法を開発した。これにより、金のナノドット周期配列構造をシングルショットで作製する事に成功した。ナノドット形状の例は直径500nm以下のシングルナノドット、多段ナノドットやナノギャップ（Δl=17.4nm）である。これらのSERS活性を確認した。