[18a-N304-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[18a-N304-6] 任意波形ナノ秒パルスレーザー加工における反射光とプラズマ発光の時間分解同時測定

〇(M2)遠藤 翼¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、ナノ秒パルス、プラズマ発光

短パルスレーザー加工におけるエネルギーの時空間ダイナミクスを明らかにするため，レーザーパルス光強度，加工試料表面からの反射光強度，プラズマ発光強度を同時に時間分解測定する系を構築し，任意波形ナノ秒パルスレーザー加工系を用い，様々なパルス形状に対して反射光およびプラズマ発光の時間波形を測定した。