[18a-PA2-1~7] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[18a-PA2-7] Focusing Properties of Concave Micromirror Fabricated by SUMP Method and Laser Lithography

〇Akihiro Matsutani¹, Ayako Takada² (1.Tokyo Tech, Semiconductor and MEMS, 2.Tokyo Tech, Biomat. Anal.)

Keywords:biochip, cell trapping, SUMP method

我々はこれまでにマイクロピラーアレイ構造のマイクロ囲いで微生物の単一細胞分離及びサイズ分離を実現しているが，この単一細胞分離構造に加えてケーラー照明とマイクロ凹面鏡を利用した細胞捕獲機能も加えることができればその応用範囲が拡がるものと考えている．前回はXeF₂気相エッチングによりSi基板にマイクロ凹面鏡を製作して細胞の捕獲を試みたが，エッチングに起因する表面粗さが光の散乱を生じさせていた．今回はスンプ法とレーザー描画を用いてセルロイド板にマイクロ凹面鏡を製作したのでその集光特性について報告する．