[18a-PA3-1~10] 1.5 計測技術・計測標準

[18a-PA3-10] ネオジム磁石を用いた小型走査型電子顕微鏡用コニカルレンズの開発

〇井口 柊也¹、大野 輝昭²、菅 洋志¹ (1.千葉工業大学、2.テクネックス工房)

キーワード：走査型電子顕微鏡、電子レンズ

近年，小型SEMが普及しつつあるが一般的なSEMに分解能で劣るためさらなる分解能向上が求められている．円錐形状の対物レンズ(以下，コニカルレンズ)は，焦点距離を小さくすることができるため，分解能向上への有効性が知られている．我々は，低収差化することのできる円錐形状レンズを小型で強力な希土類磁石を用いて製作することにより小型低収差な円錐形状電子レンズの分解能を評価した.