[18a-PA5-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[18a-PA5-1] フォトリソグラフィで作製したナノ共振器シリコンラマンレーザ

〇安田 孝正¹、岡野 誠²、大塚 実²、関 三好²、横山 信幸²、高橋 和¹ (1.大阪府大院工、2.産業総合技術研究所)

キーワード：シリコンラマンレーザ、フォトニック結晶

我々はこれまで，フォトニック結晶を応用したシリコンラマンレーザの開発に取り組んできた．
今回，フォトリソグラフィとCMOS互換プロセスを用いて作製したシリコンラマンレーザにおいて，室温連続発振を確認したので報告する．