[18a-PA5-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[18a-PA5-3] サブ波長格子構造を有するSi中赤外導波路

〇(M2)大迫 力人^1,2、徐 学俊¹、忠永 修³、澤野 憲太郎²、丸泉 琢也²、俵 毅彦^1,4、後藤 秀樹¹ (1.NTT物性研、2.都市大総研、3.NTT先デ研、4.NTT NPC)

キーワード：中赤外、導波路、グレーティングカプラ