[18a-PA6-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[18a-PA6-12] トーンバーストフローティングプローブ法によるイオンフラックスとプラズマ密度の測定

〇片平 豪¹、大内 幹夫¹、佐藤 修一¹ (1.東京電機大)

キーワード：プローブ法、浮動電位、トーンバースト

プラズマ実験・研究において、プラズマパラメータの測定はプラズマを理解する上で必須事項である。一般的にプラズマを測定する技術としてラングミュアプローブ法(LP法)が挙げられるが、プローブ表面に絶縁物がコートされてしまうと、電流-電圧測定に誤差が発生してしまう。そこで、当研究グループにおいて、LP法よりも解析が簡便で、プローブに電流を流さずに測定が行えるトーンバーストフローティングプローブ法(TBFP法)を検討した。しかし、前報では、電子温度のみの測定であった。今回は電子温度に加えて、プラズマ密度、イオンフラックスを測定した。