[18a-PA6-1~12] 8.1 Plasma production and diagnostics

[18a-PA6-3] Resolution improvement of Wien filter for desktop-sized ECR ion source

〇Hiroya Uyama¹, Toyohisa Asaji¹, Tsubasa Nakamura², Takeshi Hitobo³, Yushi Kato⁴ (1.NIT, Toyama Coll., 2.NIT, Oshima Coll., 3.Tateyama Machine Co.,, 4.Osaka Univ.)

Keywords:plasma, ion source

従来のイオン注入機は，主に1価のイオンを利用するものであったため装置が大型・高価であった．本研究室では電子サイクロトロン共鳴（Electron Cyclotron Resonance, ECR）イオン源により多価イオンを生成し利用することで，装置全体を小型化したイオンビーム装置の開発を行なっている．また，質量分析器には装置の小型化に適したWien filterを採用した．発表では，Wien filterの質量分離分解能向上について報告する．