[18a-PA6-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[18a-PA6-7] 電磁界シミュレーションによる進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討

〇小間 浩嗣¹、鈴木 陽香^1,2、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)

キーワード：プラズマ

我々は進行波を用いて導波管内に空間均一な電磁界分布を形成し、大気圧長尺マイクロ波プラズマを生成する手法を提案してきた。より低電力で安定した放電を維持するために非対称断面構造の導波管を導入し、メートル長の均一なプラズマ生成に成功している。本装置のプラズマ長さのさらなる長尺化や放電維持の安定化を目指し、本研究では、長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の解明を目的として調査を行った。