[18a-PB1-1~20] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[18a-PB1-1] VLS法によるSiナノワイヤの成長方向のシランガス分圧依存性評価

〇北澤 佑記¹、堀口 竜麻¹、小平 竜太郎¹、ジェバスワン ウイパコーン²、深田 直樹²、原 真二郎¹ (1.北大量集センター、2.NIMS)

キーワード：シリコンナノワイヤ、VLS成長法