[18a-PB1-1~20] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[18a-PB1-8] エポキシ樹脂中に形成された電気トリーのナノスケール断面観察

〇三川 莉奈¹、高橋 滉平¹、武良 光太郎²、中村 隆央²、吉満 哲夫²、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.TMEIC)

キーワード：ナノコンポジット、絶縁破壊、電気トリー

エポキシ系熱硬化性樹脂等のポリマーにナノシリカを添加したナノコンポジット材料は、電気トリーの発生・進展が抑制されることから、実機絶縁システムへの応用が期待されている。しかし、その微視的メカニズムには未だ不明な点が多く、絶縁材料の新しい評価手法の検討が望まれる。今回我々は、微細加工技術を用いて石英ガラス基板上に電極を形成し、その上にエポキシ樹脂を塗布した構造の評価用デバイスを考案した。