2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年9月18日(水) 09:30 〜 11:30 PB3 (第二体育館)

09:30 〜 11:30

[18a-PB3-1] データ同化を用いたAlN成長シミュレーションの高精度化

定 昌史1、糸数 雄吏1、桑葉 俊輔1、平山 秀樹1 (1.理研)

キーワード:MOCVD、データ同化