[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-1] データ同化を用いたAlN成長シミュレーションの高精度化

〇定 昌史¹、糸数 雄吏¹、桑葉 俊輔¹、平山 秀樹¹ (1.理研)

キーワード：MOCVD、データ同化