2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年9月18日(水) 09:30 〜 11:30 PB3 (第二体育館)

09:30 〜 11:30

[18a-PB3-11] AlGaN歪制御に向けたAlGaN/AlN界面構造とアニール効果の検討

糸数 雄吏1,2、桑葉 俊輔1,2、定 昌史1、鎌田 憲彦2、平山 秀樹1 (1.理化学研究所、2.埼玉大学)

キーワード:半導体