[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-16] AlNバッファ層Si基板上のInGaN/GaNナノコラム成長

〇十河 康治¹、山野 晃司²、野村 一郎^1,2、富樫 理恵¹、岸野 克巳² (1.上智大理工、2.上智ナノテク研究センター)

キーワード：ナノコラム成長、MBE