[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-2] 反射および透過X線トポグラフィによるAlN単結晶の転位評価

〇姚 永昭¹、菅原 義弘¹、石川 由加里¹、岡田 成仁²、只友 一行² (1.ファインセラミックスセンター、2.山口大学)

キーワード：窒化アルミニウム、転位、X線トポグラフィ

窒化アルミニウム（AlN）単結晶基板における転位の評価は、結晶成長やパワーデバイス・深紫外発光デバイスの故障解析の観点から重要である。我々は前回まで、X線トポグラフィ（XRT）およびエッチピット法を用いてAlN基板の転位種類とその面内分布を調査した[1,2]。本発表では、反射XRTに加えて透過XRTを用いることで、結晶内部の転位種類と3D形態を評価した。