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△ [18a-PB3-29] PSS上に形成した量子殻LEDの光学シミュレーション
キーワード:ナノワイヤ、シミュレーション、光取り出し効率
Ⅲ族窒化物を用いた量子殻LEDはm面に三次元の活性域を有し、従来のⅢ族窒化物LEDより高効率・高出力の発光デバイスが期待されている。これまでの知見で、FDTD、Ray Tracingを組み合わせたシミュレーション結果では、n-GaN電流拡散層で量子殻構造を埋め込むと、LEEが改善することがわかった。そこで、シミュレーションモデルに、PSS構造を導入したところ、優れた効果が得られたので報告する。