[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-34] NH₃プラズマ照射GaNのフォトルミネッセンス評価

〇熊谷 直人^1,3、板垣 宏知²、高橋 言緒³、金 載浩^3,1、小木曽 久人²、王 学論^1,3,4、廣瀬 伸吾²、榊田 創^3,1、清水 三聡^1,4 (1.産総研GaN-OIL、2.産総研AMRI、3.産総研ESPRIT、4.名大IMaSS)

キーワード：窒化ガリウム、フォトルミネッセンス、プラズマダメージ