[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-35] 膨張天然黒鉛シート上に作製したGaNデバイスのフォトルミネッセンスと電気特性

〇井上 崇¹、村川 星斗²、桟敷 剛²、細川 敏弘¹、武田 章義¹、岡野 寛² (1.東洋炭素、2.香川高専)

キーワード：窒化ガリウム、膨張天然黒鉛シート、電気特性

天然黒鉛ベースのグラファイトシートであるPERMA-FOIL^®は、高熱伝導性、高電気伝導性に加え、柔軟性を併せ持った工業製品である。このシート上に作製したGaN p-n接合デバイスは、ダイオードに特有の電流-電圧特性を示した。また、成長時の基板温度に強く依存したしきい値電圧が観測された。当日は、AlNバッファ層の効果とGaN結晶成長の過程についても報告する。