[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-37] 六方晶窒化ホウ素薄膜のCVD成長におけるグレイン成長と結合

〇名嘉眞 朝泰¹、松下 一貴¹、渡邊 泰良¹、小南 裕子¹、原 和彦^2,3 (1.静岡大総合研、2.静岡大創科院、3.静岡大電子研)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、化学気相法、サファイア基板