[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-40] H₂キャリアガスを用いたBGaN結晶成長メカニズムの解析

〇清水 勇希¹、江原 一司¹、新宅 秀矢¹、井上 翼¹、青木 徹²、嶋 紘平³、小島 一信³、秩父 重英^3,4、中野 貴之^1,2 (1.静大院工、2.静岡大電研、3.東北大多元研、4.名大IMass)

キーワード：BGaN、MOVPE、エピタキシャル