[18p-B12-1~17] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [18p-B12-4] フレキシブル抵抗型歪センサによる電子ウィスカー

〇(B)若林 聖史¹、山口 貴文¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹、竹井 邦晴^1,2 (1.大阪府立大学、2.JST さきがけ)

キーワード：フレキシブルデバイス、抵抗型歪みセンサ、電子ウィスカー

本発表では低価格大面積プロセスへ適用可能なX軸、Y軸方向の曲げを検出できる電子ウィスカー (e-whisker)を提案し、その基礎特性について報告する。ウィスカー構造を曲げると、それに追従して歪みセンサも曲がる。曲げた方向に対応する歪みセンサの抵抗値は減少し、逆側のセンサの抵抗値は増加することがわかった。本センサを集積することによって動物のヒゲのようにリアルタイムでその印加力と方向が計測可能になった。