[18p-C212-1~6] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-C212-6] Si結晶中のドーパント複合体近傍における重金属の挙動に関する第一原理解析

〇永倉 大樹^1,2、末岡 浩治³ (1.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング、2.岡山県大院情報系工、3.岡山県大情報工)

キーワード：半導体、金属