[18p-C310-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[18p-C310-10] 液中AFMを用いた半導体ウェーハ洗浄用PVAブラシ表面の物性評価

〇五十嵐 陽彦¹、吉野 巧¹、宮田 一輝^1,2、宮澤 佳甫^1,2、宇野 恵³、高東 智佳子³、福間 剛士^1,2 (1.金沢院、2.金大NanoLSI、3.荏原製作所)

キーワード：原子間力顕微鏡、ポリビニルアルコール