[18p-C310-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[18p-C310-14] 基板に共有結合により固定化され高分子膜に埋もれたナノ粒子の
走査型熱振動顕微鏡法による可視化

〇戸野 博史¹、小林 圭¹、平田 芳樹²、木村 邦子¹、山田 啓文¹ (1.京大工、2.産総研)

キーワード：表面下、非破壊、原子間力顕微鏡

近年原子間力顕微鏡を用いた表面下構造可視化技術が注目を集めているが、可視化メカニズムは依然不明である。我々は可視化像における粒子の見かけ上の大きさと深さに相関があることを明らかにしているが、意図した深さに再現性よく粒子を埋め込んだ試料を作製することは困難であった。本講演では共有結合力により粒子を基板に固定し粒子を意図した深さに再現性よく埋め込んだ試料を用いて可視化実験を行った結果について報告する。