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△ [18p-E206-4] テラヘルツ時間領域分光イメージングのための圧縮センシングの原理に基づく多層構造解析
キーワード:テラヘルツ波イメージング、圧縮センシング、信号処理
一般的なテラヘルツ波イメージングは深さ方向の分解能がテラヘルツ波パルスの帯域幅で決定されるため,信号処理技術を用いた超分解能化が求められている.また,対象表面がレンズの焦点位置から外れた場合波形が歪むという問題がある.同問題を解決するために,各深度における参照信号を観測し,同信号をCS法における参照信号とすることで,距離分解能が改善されることを,テラヘルツ時間領域分光装置(THz-TDS)を用いた実験データにより検証する.