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△ [18p-E206-5] Range Points Migration 法による自動焦点3 次元テラヘルツ画像化法
キーワード:テラヘルツ波イメージング、自動焦点、信号処理
一般的なテラヘルツ波イメージング法は集光レンズによる深さ方向への結像処理を想定しているが,焦点位置からずれる深度では,分解能が劣化するという問題がある.同問題を解決するために,本稿ではRPM法を導入する.同手法は一般的な共焦点法とは異なり,位相を利用しないため,粗い走査サンプルでも,虚像を抑えることができる.本稿では誘電体レンズモデルに適するようにRPM 法を拡張し,任意の深度で画像化精度を確保する手法を提案する.テラヘルツ時間領域分光法(THz-TDS)測定による実験検証により,本手法が従来のTHz-TDS 画像と比較して画像化精度を飛躍的に向上させることを示す.